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ASYST推出AMHS新方案 增加晶圆厂生产力

  为半导体及平面显示器制造厂提供整合式自动化解决方案领导供货商ASYST宣布推出Agile Automation,这是一种在半导体晶圆厂新的自动化物料处理(Automated Material Handling)方式。

  Agile Automation是开创业界先例的解决方案. 它大幅增加晶圆厂的生产力,通过模块化增强现有AMHS制度。Agile Automation具有并行加载和卸载几项工具的功能,同时大幅度减少对搭载置顶输送工具(Overhead Transport Vehicles, OHV)的依赖. 这样造成显着缩短且更可预测前开式芯片传送盒(FOUP)运输时间和巨幅地改善吞吐量和工具的使用.

  由于其灵活和模块化结构,Agile Automation可简单地与标准工厂自动化系统整合,不论是在现有或新建的环境。这有助于提高晶圆厂生产力的管理及低风险方法。使用Agile Automation方案,晶圆厂可以得到额外的节省,通过减少地面空间的需求,可能性较少工具和降低功率消耗。


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